灰度位宽表明了扫描仪可以表现出来的灰度范围，更大的灰度范围就会有更好的色阶过渡。灰度位宽表示方法与色彩深度相同，如16位灰度位宽就表示扫描仪可以反映216级（65536级）灰度。目前的1200dpi平板式扫描仪的灰度位宽多为12～16位，2400dpi平板式扫描仪的灰度位宽多为16位。
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